inficonBPG402益处
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测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
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10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
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皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁
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两根使用寿命长的氧化钇铱丝
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备有可选的图形显示屏和现场总线接口
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高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
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易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
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RoHS 合规
inficonBPG402典型应用
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对半导体过程和传输腔室的压力测量
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工业镀膜
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低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
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类型
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BPG402-S
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测量范围（空气、O2、CO、N2）
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5×10-10 … 1000
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精度
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10-8 … 10-2 毫巴
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% of reading
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±15
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可重复性
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10-8 … 10-2 毫巴
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% of reading
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5
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除气 (1)
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p < 7.2 × 10-6
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mbar
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electron bombardment, max. 3 min
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压力，*大
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bar (absolute)
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2
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温度
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运行（环境）
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°C
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0 … +50
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贮存
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°C
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-20 … +70
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在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S
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°C
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80
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无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL
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°C
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150
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电源电压
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+20 … +28
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输出信号模拟
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输出信号
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V
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0 … +10
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测量范围
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V
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+0.774 … +10
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电压与压强
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volts per decade
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0.75
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错误信号
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V
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0.1 / 0.3 / 0.5
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*小负载电阻
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kΩ
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10
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设定点继电器
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设定点数量
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|
1
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范围
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mbar
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1×10-9 … 100
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继电器触点
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n.o., potential free
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滞后
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% of reading
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10
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触点额定值
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|
≤30
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数字功能
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degas
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接口（数字）(2)
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RS232C
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发射控制
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automatic / manual via interface
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单丝
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two Yt2O3 coated Ir
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单丝状态/继电器
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LED / relay
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电气连接
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D-Sub, 15-pin, male
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电缆长度，*大 (3)
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m (ft.)
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100 (330)
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暴露于真空的材料
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Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
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内部容积 KF / CF
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cm³ (in.³)
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24 (1.46) / 34 (2.1)
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重量 KF / CF
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g
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450 / 710
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保护等级
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IP30
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Profibus DP
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波特率
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9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
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地址
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2 switches (address 00 - 127) or network programmable
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|
数字功能
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|
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
|
|
模拟功能
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|
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
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设定点继电器： 设定点数量
|
|
2
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设定点继电器： 范围
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mbar
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1×10-9 … 100
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|
设定点继电器： 继电器触点
|
|
n.o., potential free
|
|
设定点继电器： 滞后
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% of reading
|
10
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|
设定点继电器： 触点额定值
|
|
≤30
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Profibus DP 连接器
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|
D-Sub, 9-pin, female
|
|
CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
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|
D-Sub, 15-pin, male
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|
DeviceNet™
|
|
|
协议
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DeviceNet™, group 2 slave only
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数据率开关
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kBaud
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125, 250, 500 or network programmable
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|
电缆长度 125 kbps
|
m (ft.)
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500 (1650)
|
|
电缆长度 250 kbps
|
m (ft.)
|
250 (825)
|
|
电缆长度 500 kbps
|
m (ft.)
|
100 (330)
|
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MAC ID
|
|
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
|
|
数字功能
|
|
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
|
|
模拟功能
|
|
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
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技术规格
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DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
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设备类型
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|
''CG'' for combination gauge
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I / O 从属传讯
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polling only
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设定点继电器： 设定点数量
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|
2
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设定点继电器： 范围
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mbar
|
1×10-9 … 100
|
|
设定点继电器： 继电器触点
|
|
n.o., potential free
|
|
设定点继电器： 滞后
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% of reading
|
10
|
|
设定点继电器： 触点额定值
|
|
≤30
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|
DeviceNet™ 电源电压
|
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+11 … +25
|
|
真空计电源电压
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|
+20 … +28
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DeviceNet™ 连接器
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Microstyle, 5-pin
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BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
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|
D-Sub, 15-pin, male
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以太网
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|
以太网协议
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|
protocol specialized for EtherCAT
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通讯标准
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ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
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节点地址
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Explicit Device Identification
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物理层
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100BASE-Tx (IEEE 802.3)
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以太网数字功能
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read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
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过程数据
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Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
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邮箱 (CoE)
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|
SDO requests, responses and information
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|
以太网连接件
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RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
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|
电缆
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|
shielded Ethernet CAT5e or higher
|
|
电缆长度
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m (ft.)
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≤100 (330)
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1) 除气期间降低精度
2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
3) 适用于 RS232C 运行 <30m
inficonBPG402 inficonBPG402 inficonBPG402
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