inficonCDG100 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 **的满量程稳定性和*先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得**的 独特传感器屏蔽，可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 **的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 inficonCDG100 是同类产品中体积*小的真空测量仪器。
inficonCDG100益处
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设计紧凑，节省宝贵的工具空间
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易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
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轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
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诊断端口用于快速维修和维护
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两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
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**的信号稳定性和可重复性，即使是*苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
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合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficonCDG100典型应用
inficonCDG100规格
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类型
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1000 ... 500 Torr / mbar
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200 ... 1 Torr / mbar
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精度 (1)
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% of reading
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0.15
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0.15
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温度效应
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零点
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percent FS/°C
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0.0025
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0.0025
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满量程
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% of reading / °C
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0.02
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0.02
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压力，*大
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kPa (absolute)
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400
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260
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分辨率
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percent FS
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0.003
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0.003
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*低读数
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percent FS
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0.01
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0.01
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建议的*低读数
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percent FS
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0.05
|
0.05
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建议的*低控制压力
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percent FS
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0.5
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0.5
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温度
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传感器
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°C
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100
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100
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运行（周围环境）（5）
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°C
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+10 … +50
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+10 … +50
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在法兰处烘烤
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°C
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≤110
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≤110
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贮存
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°C
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–20 … +65
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–40 … +65
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电源电压
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+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
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+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
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功耗
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加热时
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W
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≤20
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≤20
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运行温度
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W
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≤14
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≤14
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输出信号（模拟）
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V (dc)
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0 … +10
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0 … +10
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反应时间 (2)
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ms
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30
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30
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保护等级
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IP 40
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IP 40
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标准
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CE 合规
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EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
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EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
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ETL 认证
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UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
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UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
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SEMI 合规 (5)
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SEMI S2
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电气连接
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D-sub, 15 pole, male
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D-sub, 15 pole, male
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设定点
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设定点数量
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2 (SP1,SP2)
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2 (SP1,SP2)
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继电器触点
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≤30
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≤30
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滞后
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percent FS
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1
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1
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诊断端口
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协议
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RS232-C
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RS232-C
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读数
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pressure, status, ID
|
pressure, status, ID
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设置
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set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
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set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
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暴露于真空的材料
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Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
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Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
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内部容积
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内部容积 1/2'' 管
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cm³ (in.³)
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4.2 (0.26)
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4.2 (0.26)
|
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内部容积 DN 16 ISO KF
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cm³ (in.³)
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4.2 (0.26)
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4.2 (0.26)
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内部容积 DN 16 CF-R
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cm³ (in.³)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
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内部容积 8 VCR®
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cm³ (in.³)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
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重量
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重量 1/2'' 管
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g
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837
|
837
|
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重量 DN 16 ISO KF
|
g
|
852
|
852
|
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重量 DN 16 CF-R
|
g
|
875
|
875
|
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重量 8 VCR®
|
g
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897
|
897
|
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EtherCAT
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协议 EtherCAT
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protocol specialized for EtherCAT
|
protocol specialized for EtherCAT
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通讯标准
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ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
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ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
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数据率
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Kbps
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100000
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100000
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节点地址
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Explicit Device Identification
|
Explicit Device Identification
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物理层
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100BASE-Tx (IEEE 802.3)
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100BASE-Tx (IEEE 802.3)
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数字功能读取
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pressure, status, ID
|
pressure, status, ID
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数字功能设置
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set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
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set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
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过程数据
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Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
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Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
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邮箱 (CoE)
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SDO requests, responses and information
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SDO requests, responses and information
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EtherCAT 连接器
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RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
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RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
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电缆
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shielded Ethernet CAT5e or higher
|
shielded Ethernet CAT5e or higher
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电缆长度
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m (ft.)
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≤100 (330)
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≤100 (330)
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CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器
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D-sub, 15 pin, male
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D-sub, 15 pin, male
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(1) 在25℃操作温度下的非线性、滞后和可重复性在操作2小时后不丑温度影响。
(2)提高 10 … 90% FS
。(3) 仅针对压力控制型
。(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁。
(5)环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值
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