CPM INFICON四极质谱分析仪
CPM 的特点
■ 用于监测复杂过程的四极气体分析系统.
■ 允许7 天24 小时连续监测,达到*大的产额和产量, 从而将成本降至*低.
■ 足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.
■ HexBlock 取样系统的*佳性能.
■ 内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.
■ 备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参.
■ 封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm 量级的污染物.
■ 重量轻,易搬运.
CPM INFICON四极质谱分析仪用户优越性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
■ 测量气相反应;
■ 验证真空的完整性;
■ 鉴别痕量污染物;
■ 测量过程与本底的组分;
■ 定性气体纯度.
CPM INFICON四极质谱分析仪 良好的适配性
空间是可贵的,我们的CPM占空间小,可灵活安装.为对被分析气体影响*小和在宽压强范围内快速提供结果,我们开发了多功能的HexBlock 注入口. 为确保*高的
性能与可靠性, 我们采用已在12,000 台以上Transpector 2 气体分析系统上得到验证的四极传感器.为适应某些复杂应用,如刻蚀和CVD 中存在腐蚀性极高的气体, 我们采用化学惰性优等的316 不锈钢加工。
全球支持
作为半导体市场RGA 产品的**者, INFICON 具有发展**与可靠的,增长产量的监测系统资源,加上全球应用网络,需要时可随时随地提供专家支持与协助.
CPM INFICON四极质谱分析仪技术特点
1） 带EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留时间下
2 ）质量数40 对41amu 的贡献
3 ）零blast 对2amu 的贡献
4 ）*小可检浓度,氪在空气中在1-秒停留时间下
5 ）低发射下的线性,在0.1 至2 倍常规小孔压强下
6 ）使用总压强规管在低发射下的压强调值
7 ）低发射下的总压强精度
8 ）低发射下离子源*大工作压强（灯丝关断阈值）
9 ）在封闭型离子源中2E-4 乇,在四极场范围中将产生约1E-5 乇
10） *小EM 增益在*大EM 电压下
CPM INFICON四极质谱分析仪规格
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类型
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100 AMU CPM
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200 AMU CPM
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300 AMU CPM
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Resolution
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1 amu wide @ 10% peak height
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1 amu wide @ 10% peak height
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1 amu wide @ 10% peak height
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Total Pressure Range¹
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5E-7 - 1E-3 Torr
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5E-7 - 1E-3 Torr
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5E-7 - 1E-3 Torr
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Total Pressure Accuracy²
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+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
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+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
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+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
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Maximum Ion Source Operating Pressure³
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1E-3 Torr
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1E-3 Torr
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1E-3 Torr
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Nominal Operating Pressure⁴
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2E-4 Torr
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2E-4 Torr
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2E-4 Torr
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System Operating Pressure
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1E-8 Torr - 1.2 atm
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1E-8 Torr - 1.2 atm
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1E-8 Torr - 1.2 atm
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Sensitivity (Low Emission)
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> 4E-6 Amps/Torr
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> 2E-6 Amps/Torr
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> 1E-6 Amps/Torr
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Sensitivity (High Emission)
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> 2E-5 Amps/Torr
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> 1E-5 Amps/Torr
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> 5E-6 Amps/Torr
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Minimum Detectable Partial Pressure⁵
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1E-13 Torr
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2E-13 Torr
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4E-13 Torr
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Maximum Data Rate
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1.8 ms/point (555 points/sec)
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1.8 ms/point (555 points/sec)
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1.8 ms/point (555 points/sec)
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Abundance Sensitivity⁶
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< 5 ppm
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< 10 ppm
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< 100 ppm
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Zero Blast⁷
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< 2 ppm
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< 25 ppm
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< 200 ppm
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Detection Limit⁸
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< 1 ppm
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< 2 ppm
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< 4 ppm
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Linearity⁹
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+/- 20%
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+/- 20%
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+/- 20%
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Minimum Background Pressure
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1E-8 Torr
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1E-8 Torr
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1E-8 Torr
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Maximum Sensor and Inlet Temperature
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°C
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150
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150
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150
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1 Ion source pressure reading @ low emission using total pressure lens
2 Total pressure accuracy @ low emission
3 Maximum ion source operating pressure @ low emission
4 2x10-4 Torr in the ion source will produce about 1x10-5 Torr in the quadrupole region
5 MDPP at the ion source with EM on and 1s dwell time
6 Mass 40 contribution onto 41 AMU
7 Zero blast contribution onto 2 AMU
8 Minimum detectable concentration with Krypton in air @ a 1s dwell time
9 For 1 Torr orifices or lower. Linearity @ low emission at 0.1 to 2 times the nominal orifice pressure
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