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- 产品名称：INFICON MPH 残余气体分析仪RGA
- 产品型号：INFICON MPH 残余气体分析仪RGA
- 产品展商：英福康
- 发布时间：2017-05-22
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简单介绍
INFICON MPH 残余气体分析仪RGA专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内**的性能，有助于*大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。INFICON MPH 残余气体分析仪RGA
产品描述
INFICON MPH 残余气体分析仪RGA专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内**的性能，有助于*大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长，制造的 RGA 拥有业内**的数据采集速度、*低可检测分压和*小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。
INFICON MPH 残余气体分析仪RGA功能
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模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms *高每点数据率
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TCP/IP 以太网连接
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双丝极
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可现场更换电子倍增器
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组合阳极、阴极和反射极丝极套件
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较短的传感器可降低安装占地面积
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九个数量级的动态量程
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<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)
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信噪比更高
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可调换传感器和电子元件
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传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
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符合 RoHS 标准
INFICON MPH 残余气体分析仪RGA
规格
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类型
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MPH100F
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MPH100M
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MPH200F
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MPH200M
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MPH300F
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MPH300M
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传感器长度
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14.3 cm
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19.3 cm
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14.3 cm
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19.3 cm
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14.3 cm
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19.3 cm
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质量范围
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100 amu
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100 amu
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200 amu
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200 amu
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300 amu
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300 amu
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检测器类型
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FC
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FC/EM
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FC
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FC/EM
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FC
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FC/EM
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灵敏度 (FC)
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6E-4 A/Torr
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6E-4 A/Torr
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5E-4 A/Torr
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5E-4 A/Torr
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4E-4 A/Torr
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4E-4 A/Torr
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灵敏度 (EM)
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NA
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500 A/Torr
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NA
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500 A/Torr
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NA
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250 A/Torr
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*小可检测分压
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3E-13 Torr
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2E-15 Torr
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4E-13 Torr
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3E-15 Torr
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5E-13 Torr
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4E-15 Torr
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*高传感器工作温度(FC)
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200°C
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200°C
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200°C
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200°C
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200°C
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200°C
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*高传感器工作温度(EM)
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NA
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150°C
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NA
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150°C
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NA
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150°C
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丝极类型选件 (1)
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Y2O3/Ir
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Y2O3/Ir
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Y2O3/Ir
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Y2O3/Ir
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Y2O3/Ir
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Y2O3/Ir
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丝极类型选件 (2)
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Tungsten
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Tungsten
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Tungsten
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Tungsten
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Tungsten
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Tungsten
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分辨率（整个质量范围内）
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<1 amu wide (3)
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<1 amu wide (3)
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<1 amu wide (3)
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<1 amu wide (3)
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<1 amu wide (3)
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<1 amu wide (3)
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温度系数
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<1% of peak height/°C
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<1% of peak height/°C
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<1% of peak height/°C
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<1% of peak height/°C
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<1% of peak height/°C
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<1% of peak height/°C
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*高每点数据率
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1.8 ms
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1.8 ms
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1.8 ms
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1.8 ms
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1.8 ms
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1.8 ms
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零冲击（@ 质量 2）
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<5 ppm
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<5 ppm
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<65 ppm
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<65 ppm
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<100 ppm
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<100 ppm
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*大工作压力
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5E-4 Torr
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5E-4 Torr
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5E-4 Torr
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5E-4 Torr
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5E-4 Torr
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5E-4 Torr
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*高烘烤温度
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300
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300
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300
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300
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300
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300
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功率输入
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20-30 VDC
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20-30 VDC
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20-30 VDC
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20-30 VDC
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20-30 VDC
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20-30 VDC
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(1) 用于普通应用
(2) 用于卤素环境应用
(3) 位于峰值高度的 10%
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