INFICON MPS 残余气体分析仪RGA 广州泰浩科技有限公司

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产品名称：INFICON MPS 残余气体分析仪RGA
产品型号：INFICON MPS 残余气体分析仪RGA
产品展商：英福康
发布时间：2018-07-11
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简单介绍

随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。INFICON MPS 残余气体分析仪RGA能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的 RGA 性能。 INFICON MPS 残余气体分析仪RGA提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

产品描述

随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。INFICON MPS 残余气体分析仪RGA能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的 RGA 性能。

INFICON MPS 残余气体分析仪RGA提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

INFICON MPS 残余气体分析仪RGA功能

双丝极
可现场更换电子倍增器
可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
可调换传感器和电子元件
TCP/IP 以太网连接
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
模拟扫描和所选峰值的 3 ms *高每点数据率
<1.5E-14 Torr 的 MDPP
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准

INFICON MPS 残余气体分析仪RGA规格

类型	MPS100F	MPS100M	MPS200F	MPS200M
传感器长度	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
质量范围	100 amu	100 amu	200 amu	200 amu
检测器类型	FC	EM	FC	EM
灵敏度 (FC)	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)	NA	500 amps/Torr	NA	500 amps/Torr
*小可检测分压	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr
*高传感器工作温度(FC)	200 °C	NA	200 °C	NA
*高传感器工作温度(EM)	NA	150 °C	NA	150 °C
丝极类型选件	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide
温度系数 (2)	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C
*高每点数据率	3 ms	3 ms	3 ms	3 ms
零冲击（位于质量 2）	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm
*大工作压力	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
*高烘烤温度	300 °C	300 °C	300 °C	300 °C
功率输入	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 时长 8 小时，半小时预热时间；仅适用于 FC 模式

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