INFICON XPR3气体分析系统 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。
INFICON XPR3气体分析系统 是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有****的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。
INFICON XPR3气体分析系统功能
-
经过重新设计的离子源*大限度减少污染积存，可延长使用寿命，提供更纯净的信号。
-
新 EM 在 PVD 过程压力下工作，可实现更快速、更纯净的数据收集，消除 FC 向 EM 过度的必要，更便于数据分析。
-
更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能，增强了丰度灵敏度，从而提高了氢气检测灵敏度。
INFICON XPR3气体分析系统典型应用
-
PVD 过程模块
-
预清洗模块
-
非群集 PVD 工具
-
夹钳式除气模块
INFICON XPR3气体分析系统
|
Transpector XPR
|
|
零件号
|
明细
|
|
600-1109-P1
|
Cable, Interlock
|
|
600-1117-P1
|
Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
|
|
600-1117-P2
|
Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
|
|
914-022-G2
|
Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
|
|
914-220-G1
|
Spare Angle Valve, Air Operated
|
|
914-348-P1
|
Ceramic Shield, XPR, XPR2
|
|
914-407-P1
|
Spare Valve Heating Jacket
|
|
914-410-P1
|
Spare Angle Valve, Manual
|
|
918-401-P1
|
Pirani Gauge
|
|
Transpector XPR2
|
|
零件号
|
明细
|
|
600-1109-P1
|
Cable, Interlock
|
|
600-1117-P1
|
Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
|
|
600-1117-P2
|
Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
|
|
914-022-G2
|
Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
|
|
914-220-G1
|
Spare Angle Valve, Air Operated
|
|
914-348-P1
|
Ceramic Shield, XPR, XPR2
|
|
914-407-P1
|
Spare Valve Heating Jacket
|
|
914-410-P1
|
Spare Angle Valve, Manual
|
|
918-401-P1
|
Pirani Gauge
|
|
Transpector XPR3
|
|
零件号
|
明细
|
|
600-1109-P1
|
Cable, Interlock
|
|
600-1117-P1
|
Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
|
|
600-1117-P2
|
Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
|
|
914-022-G2
|
Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
|
|
914-220-G1
|
Spare Angle Valve, Air Operated
|
|
914-407-P1
|
Spare Valve Heating Jacket
|
|
914-410-P1
|
Spare Angle Valve, Manual
|
|
914-415-P1
|
Heating Jacket, 120/230VAC, XPR3
|
|
914-416-G1
|
Weldment Assembly, Interlock, XPR3
|
|
918-401-P1
|
Pirani Gauge
|
- 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
- 免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报