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产品详情
  • 产品名称:DGL XY 带波纹管盖的双导台

  • 产品型号:AUM4-S4
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
设计特征 A.直接驱动无铁直线电机定位系统 B.运动和归航 C.洁净室盖 DGL XY双导轨带洁净室盖,由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造,具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.
详情介绍:
设计特征
 
A.直接驱动无铁直线电机定位系统
B.运动和归航
C.洁净室盖
 
DGL XY双导轨带洁净室盖,由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造,具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.

Module Configuration

MODEL Axis Motor Effective Stroke (mm) Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm) Hard Stopper Position (mm)
DGL200 Top AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
Bottom AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
AUM4-S4 300 26.1 103 304 320

Note: That granite mass is approx.260Kg. 

 

Performance Parameter

Specification Parameter Unit DGCR 300 DGCRS 300
1Straightness μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
1Flatness ±3μm/25mm ±3μm/25mm,NTE±10μ
NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch) ±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch) ±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch) ±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue) ±5 counts ±5 counts
X-Y Orthogonality Arc-sec 10 10

Note: All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table.

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