DGL XY 带洁净室盖的双导台 AUM4-S3 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

设计特征 A.直接驱动无铁直线电机定位系统 B.运动和归航 C.洁净室盖 DGL XY双导轨带洁净室盖，由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造，具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.

详情介绍：

设计特征

A.直接驱动无铁直线电机定位系统

B.运动和归航

C.洁净室盖

DGL XY双导轨带洁净室盖，由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造，具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.

Note: That granite mass is approx.240Kg.

Performance Parameter

Specification Parameter	Unit	DGCR 300	DGCRS 300
¹Straightness	μm	±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm	±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm
¹Straightness		±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm	±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
¹Flatness		±3μm/25mm	±3μm/25mm，NTE±10μ
¹Flatness		NTE±10μm/300mm	NTE±10μm/300mm
Repeatability (1μm resolution)		±3μm (40μm scale pitch)	±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution)		±1.5μm (20μm scale pitch)	±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution)		±1μm (20μm scale pitch)	±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue)		±5 counts	±5 counts
X-Y Orthogonality	Arc-sec	10	10

Note: All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table.

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产品名称：DGL XY 带洁净室盖的双导台