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产品详情
  • 产品名称:SHINKUU日本真空设备溅射设备标准型号

  • 产品型号:MSP-1S
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
这是一种用于SEM样品的金属涂层系统。
详情介绍:

该设备专用于用于SEM观察的贵金属薄膜涂层。 这是一种进

行贵金属涂层的装置,可防止SEM样品充电并提高二次电子生成的效率。 除了磁控管靶电极的低压放电外,样品架还由浮动系统制成,以减少由于电子束流入而造成的样品损坏。 操作简单,只需按一个按钮,没有技巧或坏处。 它很小,不占用太多空间。 它可以在桌子的角落里工作。

这是一种用于SEM样品的金属涂层系统。

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V(单相100V10A)3P插头,带接地1件
旋转泵 10L/min(内置于设备中)
设备大小 宽200mm x 深350mm x 高345mm
(设备重量:14.6Kg)
试样室尺寸 内径 120 mm x 高度 65 mm (硬玻璃)
试样底座尺寸 直径50mm(浮动方式)
电极与样品的间距 35 mm(使用辅助样品架时为 25 mm)
目标电极 内置永磁体的磁控管型靶电极
目标金属规格 Φ51mm,厚度0.1mm
Pt,Pt-Pd,Au,Au-Pd,Ag
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