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产品详情
  • 产品名称:SHINKUU日本真空设备靶材溅射涂层设备

  • 产品型号:MSP-mini
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
该装置是带有磁控管目标的金属涂层装置。 它用于用光学显微镜观察透明材料的表面(银靶)或用电子显微镜处理少量导电膜(金/银靶)的样品。
详情介绍:

只需按一下按钮即可自动涂布。 根本没有烦人的操作。 高性价比的机器。 它是MSP-1S的弟弟。
采用小目标(φ30mm)。 运行成本低。 标配金靶标。 对桌面扫描电镜的预处理有效。
可选的目标 Ag 膜具有出色的光泽度,便于对透明材料表面进行光学显微观察。

总结
该装置是带有磁控管目标的金属涂层装置。 它用于用光学显微镜观察透明材料的表面(银靶)或用电子显微镜处理少量导电膜(金/银靶)的样品。

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V,10A 3芯插头,带地线
设备大小 宽度 180 mm, 深度 270 mm, 高度 183 mm
(设备重量 4.2 Kg)
旋转泵 抽速 5 l/min (G-5DA)
(泵重 5.5Kg)
试样室尺寸 内径 86 mm,高度 60 mm(硬玻璃)
试样载物台尺寸 Φ83毫米
试样尺寸 有效直径Φ30mm,高度20mm以下
目标 Φ30mm磁控管电极
Au(标配),可选(Ag)
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