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根据涂层面积的差异，可提供 12 英寸型和 12S 型！
MSP-12in
目标尺寸的直径为 12 英寸（直径 300 毫米），可均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。 它可用于涂布大面积和涂布大量样品。
MSP-12S
目标电极的直径为 50 mm。 当您想要涂覆大面积样品的一部分（例如 12 英寸晶圆）时，可移动目标非常有用。 通过减小电极的尺寸，可以降低运行成本。 也不需要裂解大型晶圆。
主要产品规格
有关氩气设备的信息
项目
规范
权力
带地线的单相 AC100V15A 3 芯插头
设备大小
宽 450 mm，深 440 mm，高 427 mm
（设备重量 30 kg）
旋转泵
G-101D 宽 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米，重量
25Kg
涂装室尺寸
内径330mm，高80mm
目标电极尺寸
直径 300mm
样品台
直径 300mm
