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产品详情
  • 产品名称:SHINKUU真空设备清洁高真空沉积系统

  • 产品型号:VE-2050
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
样品制备的下一步从清洁的高真空开始。 这是一种使用涡轮分子泵 (TMP) 排气系统的清洁高真空沉积系统。 高真空有助于提高薄膜纯度和密度。 如果按下触摸面板上的 EVAC START 按钮,系统会自动执行从预排气到高真空排气的状态。 它是一种**设计,可通过触摸屏+程序控制防止操作错误。
详情介绍:

VE-2050 提供各种可选附件。 我们还接受根据您的研究目的对功能进行额外修改。

特征

加热器电源:*大电流80A(使用标准船时),电流表指示。
・真空排气系统是由80L/sec TMP+50L/min RP和不需要冷却水的全电磁阀组成的全自动排气系统。
・ 配备触摸屏操作无法通过错误程序操作的**功能。
TEM和SEM挤压的烘烤也可以在短时间内完成,节省时间。
・金属涂层和阴影是超细颗粒沉积,提高分辨率。
・碳涂层也是一种坚固而致密的气相沉积膜。 它有效地增强了碳并支持了薄膜的形成。
在停电的情况下,所有阀门都会自动关闭并保持真空。 只有旋转泵会自动泄漏。
恢复断电后,返回初始屏幕。
输入开关是电路保护器。 如果设备中发生过电流,它将自动关闭。

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V(单相100V15A)
设备大小 宽度 534 mm,深度 675 mm,高度 1134 mm
(设备重量 80 kg)
旋转泵(内置装置) 抽速:50l/min(G-50DA)
涡轮泵(内置装置) 抽速:67升/秒
真空度测量 全范围真空计
样品台 直径 58mm 水平样品架(标准安装)
真空室 200mm 内径 x 248mm 高度 配备
ICF70 服务端口。
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