企业信息
第8年
- 入驻时间： 2016-09-29
- 联系人：彭小姐
- 电话：010-67868591
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产品详情
简单介绍：
该设备是现有红外加热设备 RTP-6 的紧凑型桌面版本。
通过取消传统的排热装置并采用冷却风扇，我们实现了高效冷却和安静加热，降低了噪音。
详情介绍：
- 能够高速加热尺寸达 2、4 和 6 英寸的小芯片和薄晶圆。
- 使用专用程序软件轻松输入温度配方
- 冷却风扇大幅降低噪音
- 通过安装冷却水流量检查器实现**措施
- 带工艺气体（氮气）质量流量控制器
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完整的控制系统包括PLC、温控仪、触摸屏、温升过高等
