产品名称：MEIWAFOSIS多光谱椭圆仪

FS-4/FS-8采用多LED光源和**新型MWE技术

使用新的**多波长椭圆计 （MWE）和多波长 LED 光源可实现宽光谱椭偏仪分析。
此外，新发布的 FS-4 （G4） 和 FS-8 （G4） 分别在红外和紫外区域增加了 LED，以在更宽的范围内提供增强的薄膜测量。 光源单元的光路将多光谱LED光源集成到单个明亮均匀的光线中。
FS-4 / FS-8的主要功能和特点如下表所示。

多达 8 个波长！ 通过宽光谱范围测量增强薄膜测量

新发布的 FS-4/FS-8 可在更多波长和更宽的光谱范围内提供增强的薄膜测量。 新系统提供获得**的多波长椭圆计 （MWE） 技术和长寿命 LED 光源、快速、可重复的探测器，无移动部件、紧凑的设计和 Web 浏览器界面，同时保持易用性和可负担性。

埃纳米薄膜薄膜厚度的高精度测量

从亚单层高精度测量纳米薄膜的厚度，无损测量每层多层薄膜的厚度，

多光谱椭圆仪对薄膜非常敏感，由椭圆（Δ：delta）参数得出。
通过测量 Mr./Ms. 中反射的 p 偏振光和 s 偏振光之间的相位，即使要测量的光的波长 （500 nm） 与薄膜厚度（小于 0.1 nm）
相比非常长，也可以测量**的薄膜厚度定量到亚单层的厚度。

下表显示了使用包含多层的各种 Mr./Ms. 拉力进行标准测量的准确度和精度。
得益于MWE技术，它在测量0Å~1000nm范围内薄膜的薄膜厚度和折射率方面表现出色。