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产品详情
  • 产品名称:ARK TECH方舟UV-LED光源

  • 产品型号:EW01S
  • 产品厂商:ARK TECH方舟
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简单介绍:
这是一款UV-LED光源,用于在g线和i线光刻胶兼容晶圆周围曝光。 它可以安装在新设备中,也可以轻松更换为当前使用的紫外灯光源。
详情介绍:
项目 物质
工作环境温度 5~40°C(无凝结。 )
电源电压 单相 100~240V
工频 50/60赫兹
发光峰值波长 365±5纳米
光输出稳定性 ±5%以内
初始紫外线强度 2000mW/cm2以上(365nm处,距面罩0.5mm)
强度分布的均匀性 10%以下(4×5mm区域)
紫外线发光源 UV-LED灯
紫外光源寿命 20,000 小时(预计寿命:*大驱动电流)* 紫外线强度为初始强度的 50% 或更高时的照明积分时间
辐照开/关功能 UV-LED 开/关控制 (通过遥控和手动控制开灯和关灯)
光强调节功能 UV-LED电流调节光强度调节范围为20~100%
外墙材料 不锈的
外形尺寸 150(W) × 200(D) × 192(H) 毫米

辐照分布

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外图

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