4800 系列热敏 MFC

长处

• 流量响应时间（稳定时间）0.75秒以下
• **的MEMS传感器和专用的PID算法
• 尺寸仅为普通散热 MFC 的一半，紧凑尺寸：1“ x 3” x 4“ （25 mm x 76 mm x 101 mm）
• 使用可选的本地操作员界面（LOI）简化设置和操作：下载免费的LabVIEW VI进行设备监控和归零
• 通过 RS-232 提供数字支持

优点

• 适用于各种非腐蚀性气体
• 快速响应时间确保快速步骤，即使过程中配方更改也是如此
• 原始设备制造商的理想选择：紧凑的尺寸，可以轻松集成到狭小的机器空间中，并加快安装速度
• 可选的本地操作员界面 （LOI） 是用于本地显示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案。 无需远程二次电子设备。
• 多种通信选项，满足您的需求

用途

• 热处理、切割/焊接、热处理
• 太阳能/薄膜物**相沉积 （PVD） 系统
• 用于试剂、校准、测量和控制 Mr./Ms. 气体流量的分析设备
• 
  

  产品类型	4850质量流量控制器	4860质量流量计
  流量范围（满量程容量）	50 SCCM - 40 SLPM	50 SCCM - 40 SLPM
  精度	3.0% 满量程 1.0% F.S. （可选）	3.0% 满量程 1.0% F.S. （可选）
  再现性	0.15% 满量程	0.15% 满量程
  响应时间	常闭阀：300 ms - <1 sec	常闭阀：300 ms - <1 sec
  *大压力	150 psig/10 barg	150 psig/10 barg
  诊断能力	状态指示灯：MFC 运行状况、网络状态 报警：传感器输出、控制阀输出、超温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口：RS485 通过 2.5 毫米插孔	状态指示灯：MFC 运行状况、网络状态 报警：传感器输出、控制阀输出、超温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口：RS485 通过 2.5 毫米插孔
  模拟通信	0-5 伏直流电 4-20 毫安	0-5 伏直流电 4-20 毫安
  数字通信	RS232接口	RS232接口