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产品名称：BROOKS 布鲁克斯质量流量控制器
产品型号：GF120
产品厂商：BROOKS 布鲁克斯
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简单介绍：

速度增强的 EtherCAT®

详情介绍：

*快、***的质量流量控制器

半导体工艺的*佳性能

具有嵌入式实时诊断功能的 EtherCAT® 数据采集
超稳定的流量传感器（每年≤设定值的 0.15%）可提高低设定值的精度并减少维护要求
改进了阀门关闭（料仓范围的 ≤0.15%）并减少了阀门泄漏，从而减少了**晶圆效应
新增强的压力波动容限（PTI）可降低串扰灵敏度，并确保一致的质量流量输送

特征

长期零点稳定性，±小于0.15%F.S./年
响应时间：300 ms 至 1 秒以内
满量程流量高达 300 slpm
所有气体接触部件均为金属：*高 0.125 μm 或 0.25 μm Ra 表面光洁度可选
高度耐腐蚀的哈氏合金 T-Rise 传感器可提高高温下的温度可重复性
MultiFloTM 气体，范围可变性：可以在一个设备中配置数千种不同的气体和流速，而无需从气体管路中移除 MFC，也不会影响精度
易于使用的用户显示屏和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
GF120 **输送系统（SDS®）是 Brooks 技术*高的低压降质量流量控制器，用于植入和蚀刻工艺中使用的亚大气压 SDS 气体输送。

优势

非常好的性能
- 由于反应时间短，提高了应用效率
灵活的连接配置
- 几乎无限的网络连接
简单而坚固
- 配置、诊断和维护
可负担性
- 标准以太网端口

用途

半导体蚀刻设备
CVD、MOCVD、PECVD、ALD设备
PVD设备
外延制程设备

规格

	GF100	GF101	GF120	GF120	GF120XSD	GF120XSL	GF121	GF125	GF126
差异化优势	高纯度	高纯度高流速	超高纯度超快响应时间	*高流量范围久经考验的可靠技术	SDS气体输送	SDS气体输送	超高纯度高流速	超高纯度超快响应压力瞬态不敏感	高流速
流量范围（满量程容量）	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	3 SCCM - 55 SLM	>25 SCCM - 1 SLM	4 - 25 SCCM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM
表面光洁度	10μ 英寸 Ra	10μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	4μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra
精度	±1% 标准> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 标准> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 标准> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 标准价 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
再现性	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股	< ±0.15% 标准股
响应时间	常闭 <1 秒	常闭 <1 秒	常闭 700 毫秒	常闭 700 毫秒	常闭 <3 秒	常闭 <3 秒	常闭 <1 秒	常闭 300 毫秒 - <700 毫秒	常闭 <1 秒
响应时间 - 否	常开 <1.5 秒	常开 —	常开 <1.5 秒	常开 <1.5 秒	常开 —	常开 —	常开 —	常开 <1.5 秒	常开 —
多气体多量程	MultiFlo™ 标准版	MultiFlo™ 标准版	MultiFlo™ 标准版	MultiFlo™ 标准版	—	—	MultiFlo™ 标准版	MultiFlo™ 标准版	MultiFlo™ 标准版
供气压力波动容限/背压波动容限（稳定）	—	—	—	—	—	—	—	±5% S.P. 高达 5 psi/sec 上游压力机。穗	能够测量入口压力
诊断能力	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报	状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态警报：控制阀输出和网络中断	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报	状态指示灯和警报
数字通信	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT	RS485 L协议设备网络™	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT	EtherCAT以太网CAT

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