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产品名称：BROOKS 布鲁克斯质量流量控制器
产品型号：GF80
产品厂商：BROOKS 布鲁克斯
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简单介绍：

GF80 系列金属密封质量流量控制器/流量计特点：它们具有与 Brooks *畅销的 GF 系列相同的快速响应传感器和获得**的第四代 MultiFlo™ 技术，是以较低价格点进行高性能工作的理想选择。当您转向金属密封 MFC 时，您可以充分利用 MultiFlo™ 多气体/多量程功能，因为可以使用的气体没有限制。它通过防止弹性体渗透氧气来提高气体清洁度，并且由于金属密封的长久耐久性，减少了维护周期的数量。

详情介绍：

GF80系列金属密封热式质量流量控制器/流量计

长处

长期零点稳定性：小于 0.5% 满量程/年
稳定时间：1 秒或更短
满量程流量高达 300 slpm
全金属密封流路：16 μ“ Ra 表面光洁度
耐腐蚀的哈氏合金®传感器可以在低温下工作，适用于容易发生热变性的气体
可配置的 MultiFlo™ 功能 - 在单个设备中支持数千种气体类型和范围组合，而无需断开气体管线或牺牲精度
有效的温度补偿，实现**的温度系数规格
自诊断常规和独立的诊断服务端口
纤薄的机身宽度，带 VCR 配件
DeviceNet™、Profibus®、RS-485、模拟接口

优点

流量稳定时间小于 1 秒，可消除气体浪费和工艺可变性
可渗透氧气，不使用需要随着时间的推移而更换的弹性体密封件
MultiFlo™ 简化和流水了工艺气体转换，无需去除或校准 MFC
可以在不到 60 秒的时间内设置新的气体和/或范围
测量精度不受温度波动的影响
易于访问诊断端口，以*大限度地延长生产正常运行时间
体积紧凑，可轻松集成到狭小的机器空间中，是改进的理想选择
多个协议通信接口简化了与现有系统的集成

用途

新型半导体工艺工具，用于对传统 MFC 进行经济高效的改造/升级
减少 6 英寸和 8 英寸半导体工厂的 MFC 库存
用于 LED 和功率器件制造的 MOCVD
太阳能/薄膜化学气相沉积（CVD）系统
分析OEM设备

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产品名称：BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器

GF80系列金属密封热式质量流量控制器/流量计

长处

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