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产品详情
  • 产品名称:BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器

  • 产品型号:5850EM
  • 产品厂商:BROOKS 布鲁克斯
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简单介绍:
5850EM 系列金属密封质量流量控制器以广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能为基础,测量和控制清洁环境中的高压气体流量,具有基于性能的稳定性。 金属密封设计和电抛光气体接触表面提供了出色的流动完整性,并提高了整体工艺效率,从而提供了稳定的气体流量。 无需对气体压力进行连续监测或修复。
详情介绍:

5850EM 系列金属密封热式质量流量控制器

长处

  • 长期零点稳定性:小于 0.2% 满量程/年
  • 建立时间小于 3 秒,可适应微小的过冲/下冲变化
  • 宽流量范围 – 3 sccm 至 30,000 slpm
  • 高压额定值 - 高达 1,500 psi
  • 可选的加固工艺内部饰面 - 平均 5 μ“ Ra
  • 可拆卸流量传感器
  • 安装姿势无影响
  • 与其他质量流量控制器的机械和电气兼容性
  • TTL兼容的“阀门关闭”和吹扫功能

优点

  • 金属流路可提高气体清洁度并减少泄漏
  • 在各种过程和应用中经过验证的长期稳定性和准确性
  • 可靠的性能提供了出色的投资回报
  • 可拆卸流量传感器,无需连续监测和*大调节气体压力
  • 专用模拟输入和输出,便于安装和维修

用途

  • 光纤
  • 发光二极管 / MOCVD
  • 半导体
  • 太阳的
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