企业信息
第8年
- 入驻时间： 2016-09-29
- 联系人：彭厚芹
- 电话：010-67868591
-
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- Email：phq@kitazaki.cn
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联系人：彭厚芹
联系电话：010-67868591移动电话：13910926753 13910916953 15510102388
公司地址：北京市朝阳区住邦2000商务中心1号楼A座406B
Email：phq@kitazaki.cn
公司网址：http://www.kitazaki.com.cn
产品详情
简单介绍：
久经考验的长期稳定性。 超高清洁性能，适用于高温应用
详情介绍：
5850EMH 系列高温质量流量控制器
长处
- 高泄漏完整性（10-11 Pa.m3/s （10-10 atm.cc/s） He 或更低）
- 宽流量范围（0.003~100 slpm）
- 高纯度VAR 316L不锈钢
- 防止颗粒的形成
- 氦气泄漏止回口
- 常闭阀（提供常开阀选项）
- 电动阀门超控
- 低指令流截止
- 符合TTl标准的“阀门关闭”功能
优点
- 稳定且经过验证的产品平台
- 高达 100 lpm 的高流量性能（相当于 N2）
- 金属流路可提高气体清洁度并减少泄漏
- 专用模拟输入和输出，便于安装和维修
用
- 光纤制造 - MCVD、OVD、AVD
- 流量蒸汽流量控制
规格
| 5850EMH | 5851EMH | |
| 流量范围（满量程容量） | 3 sccm - 30 slm （N2 等同） | 10 - 100 slm （N2 等同） |
| 精度 |
±1%FS |
±1%FS |
| 再现性 | SP的0.25%< ± | < ±0.25% SP的 |
| 响应时间 |
3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91） |
3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91） |
| 模拟通信 |
0-5 伏直流电 |
0-5 伏直流电 |
