用于半导体生产工艺的高性能质量流量控制器的EtherCAT通讯版本，符合SEMI认证。 EtherCAT通讯用于半导体制造设备的高速传输系统。
特别之处
- 精度范围±1%S.P.
- 金属密封
- 无尘生产(粒子标准监控)
- 环境温度补足式质流传感器
- EtherCAT 通信
选配规格
- 小流量 F.S.
- 液化体
- Large-flow 范围
使用范例
EtherCAT通讯设备的统一化
越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通讯接口（数字I/F），用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通讯有65,536个节点，MFC的所有测量系统和驱动系统元件都可以与EtherCAT通讯统一。
规格表
| 温度 | *小压差 | *大压差 | 精度 | 控制范围 | *低 F.S. | 马克斯 FS | 密封 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%满量程 | 10单片机CM | 300 升 | 金 |
Lintec 林泰克 EtherCAT质量流量控制器 MC-5000C,北崎有售，欢迎咨询。
