DeviceNet通讯接口专用质量流量控制器。
*新的半导体制造设备上所搭载的控制器不再采用模拟通讯，而是采用开放式现场网络通讯技术，以达到高速控制和简化布线的目的。
特点
- 精度范围±1%S.P.
- 使用温度5～50℃
- 金属密封件
- 无尘生产（粒子标准监控）
- 环境温度补足式质流传感器
- DeviceNet™通讯
选配规格
- 小流量F.S.
- 液化气体
- 大流量范围
使用范例
配线简化，节省成本
越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。
规格表
| 温度 | *小压差 | *大压差 | 精度 | 控制范围 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
Lintec 林泰克 DeviceNet质量流量控制器 MC-5000L,北崎有售，欢迎咨询。
