*小工作压差800Pa（6 Torr）的低压差质量流量控制器。
搭载LINTEC**的环境温度补足式质流传感器抵压损构造，在±1%F.S.正確范围内减少压力损失。
搭载**的高性能压电控制阀,在低压差环境下亦可实现稳定、**的流量控制。
特别之处
- 低差 （800Pa）
- 工作温度：5~50°C
- 金属密封胶
- 无尘生产(粒子标准监控)
- 环境温度补足式传感器
- RS-485numeric通讯接口
选配规格
- 微流量 F.S.
使用范例
低蒸气压气体在低温环境下的流量控制
MC-3000S系列是采用LINTEC独自开发的抵压损构造的质量流量控制器，如果次侧为真空状态，即使在常温条件下也能对H2O等液原料进行流量控制。 推荐使用ITO 溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到vacuum room。 此外，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），常温条件下也可以进行流量控制。
减压罐容器（SDS vessel）的流量控制减压罐容器（SDS容器）的流量控制
离子注入设备中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用**输送源Safe Delivery Source（SDS）容器来实现**稳定的输送。 SDS填充的罐压低于大气压，需使用对应低压差环境的MFC。 搭载低压差结构的MC-3000S系列产品，则可以满足这一需求。
规格表
| 温度 | *小压差 | *大压差 | 精度 | 控制范围 | *低 F.S. | 马克斯 FS | 密封材料 |
| 5~50°C | 800帕 | 133 千帕斯卡 | ±1%F.S. | 2~100%满量程 | 2SCCM | 30 单片机 | 金 |
