搭载于高性能质量流量控制器的流量控制阀。
搭载压电致动器的高性能压电控制阀，可实现对压力或气体流量的高速控制。控制阀开度外部设定范围0～5V。
接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L，密封材料采用Au，可对应腐蚀性气体。
特点
- 使用温度0～50℃
- 金属密封件
选配规格
- 低压差
- 液化气体
使用范例
压力控制阀
在许多实验和制造过程中需要恒定的腔室压力。 通过组合压力计、PID控制器和CV-3000压电控制阀，可以控制压力以保持恒定。
规格表
| 温度 | *小差圧 | *大差圧 | *大流量 | 密封件 | 应答时间 |
| 0~50℃ | 50kPa | 300kPa | 10SLM | Au | 0.5sec以下 |
