产品名称：LINTEC林泰克 高速应答质量流量控制器

简 介
MC-7000 系列為高速应答质量流量控制器，应答时间可小于 200 毫秒特点
吏用热式传感器，应答时间可小于 200 毫秒搭配 LINTEC **的环境温度补偿式质流传感器，可対应腐蚀性或液化气体海保精度于±1%S.P.(设定值)范围内吏用耐久性高、密闭性高的金属密封件及高速度，高性能的压电控制阀重讯方式可选用 DeviceNet (ODVA) 或是 EtherCAT®

高速应答质量流量控制器MC-7000
应答时间200msec的超高速质量流量控制器（MFC）。
通过使用热传感器，实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接触式热流量传感器和压电控制阀，可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度可达到±1.0％S.P.，数字通信方式可选择DeviceNet或EtherCAT。
产品特点
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用温度5～50℃
金属密封材
无尘（粒子标准监控）
周围温度补偿传感器
支持EtherCAT通讯方式
支持DeviceNet™通讯方式

超高速流量制御

使用范例

快速刻蚀工艺

在半导体制造工艺中，在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说，缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器，流量传感器与流量测量气体不接触，可实现200msec的超高速响应。同时，因为非接触式的特点，该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。

产品规格表