企业信息
第8年
- 入驻时间: 2016-09-29
- 联系人:彭小姐
- 电话:010-67868591
-
联系时,请说明易展网看到的
- Email:bj@tamasaki.com
- NIKUNI尼可尼
- KRONE克朗
- IMADA 今田
- BEAT SENSE
- BROOKS 布鲁克斯
- THOMAS 托马斯
- KDN京都电机
- SAITOHK 齐藤光学
- DENGENSHA TO...
- TSUBAKI 椿本
- 北崎现货
- ISOWATEC沃森-马...
- MIYAWAKI日本
- YUTAKA日本
- IZUMIDENNETU...
- KOTOHIRA琴平
- GASTEC日本
- OKANO冈野制作所
- SINAGAWA品川
- TOKU东空
- LINE 莱茵
- HISHIKO菱小
- TSUBOSAKA壶板电...
- MEITOU名藤化工
- ANALYZER
- GRAPHTEC图技
- HIOKI日置
- DAIICHIKEIKI...
- KORI古里精机
- Mother Tool母...
- ARK TECH方舟
- RIKEN KEIKI理...
- AKAMATSU赤松电机
- SERIC赛瑞克
- SEIWAOPT清河光学
- SAIKA佐加
- MOTOYAMA本山
- POWREX派沃斯
- TAIWA台和
- MITSUIEC 三井电...
- FUJIHIRA富士平工
- MINATO CONCE...
- MEIWAFOSIS日本
- SONOTEC超音波
- HANATSUKA花塚
- YOSHIDA吉田制作
- SOMA相马光学
- CHO-ONPA超音波工...
- RIGO离合社
- KSK加藤
- JAI分析工业
- KIMMON金门科哈
- EDDIO哈拉电子
- KAWAKI川木柿
- NTS日本
- YAZAWA矢泽科学
- SHODENSHA松电社
- JULABO优莱博
- SEKONIC世康尼克
- TEXIO德士
产品详情
简单介绍:
能够捕获硅片8英寸和6英寸表面的挥发性成分(有机污染物)。 (SW-8400IIIDF)
详情介绍:
SW-8400III.DF / SW-12400III.DF 硅片输出气体集热器
特点:
能够捕获硅片8英寸和6英寸表面的挥发性成分(有机污染物)。 (SW-8400IIIDF)
它可以收集硅片12英寸表面的挥发性成分(有机污染物)。 (SW-12400IIIDF)
由于采用捕获方法,因此没有死体积,并且可以检测到痕量成分。
从正面产生的气体被可靠地收集起来,从背面产生的气体通过真空泵完全释放。
晶圆直接加热,*高温度为500°C。 (烘烤时)
采用时序控制(触摸屏)。 更易于操作。
PAT(10 mL 内部容积,含 Tenax GR 吸附剂)标配除气。 可选地,它还与每个制造商的收集管兼容。
超温预防装置、门联锁机构、急停开关、漏水传感器(可选)等**措施已到位。
可选地,可以对样品管进行多级升温收集、分体式收集和电子冷却(在收集时)。
在这种方法中,硅晶圆(SW)的表面覆盖着顶板,仅收集表面的除气。
吹扫气体通过预热管路后,沿着烤盘(钟形顶板)的外壁流动,烤盘以钟形固定在烘箱顶部,从外周引导穿过SW面到中心。
SW的背面由真空泵吸入,因此SW背面产生的气体可以可靠地排出。
设备规格
SW-8400III.DF | |
方法 | 贝尔法 |
可收集的晶圆尺寸 | 8 英寸和 6 英寸、5 英寸及以下需要夹具(12 英寸用于 12400III) |
烘箱材料 | 不锈钢 (SUS316L) |
烘箱加热方式 | 顶板和底板独立加热系统 |
烘箱工作温度 | 正常使用:400°C(*高烘烤温度:500°C) |
烤箱冷却 | 冷却水循环器 |
保温管 | 内表面惰性处理 |
吹扫气体 | 通常为氮气,*大流速 500 mL/min |
PAT冷却(オプション) | 电子冷却 |
急停开关 | 红色,蘑菇形 |
保障 | 门联锁机构 |
烤箱开启和关闭 | 电机驱动 |
车身尺寸 | 1140(宽)×1106(高)×750(深)毫米 |
权力 | 单相AC200V,20A/AC200V,30A |
质量 | 280公斤 |