企业信息
第8年
- 入驻时间: 2016-09-29
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产品详情
简单介绍:
LED光源和**技术,用于
高精度和简单的椭偏仪分析
详情介绍:
FS-4/FS-8采用多LED光源和**新型MWE技术
使用新的**多波长椭圆计 (MWE) 技术(美国**号 9,354,118)和多波长 LED 光源可实现宽光谱椭偏仪分析。
此外,新发布的 FS-4 (G4) 和 FS-8 (G4) 分别在红外和紫外区域增加了 LED,以在更宽的范围内提供增强的薄膜测量。 光源单元的光路将多光谱LED光源集成到单个明亮均匀的光线中。
FS-4 / FS-8的主要功能和特点如下表所示。
主要特点 | 长处 |
---|---|
多LED光源 (4或8个光源 ,波长范围为370~950nm) |
使用寿命长(超过 50,000 小时),在仪器使用寿命期间 无需 LED 光源和相关轴校准 |
获得**的 MWE 技术确保 检测器中没有移动部件 |
超越光谱椭圆的高重复精度,低至 10 毫秒的高速 测量,光谱椭圆无需 定期校准 |
重复精度高 |
厚度为0~2μm的单层透明膜 可测量,精度为0.0004nm |
内置 PC,可通过 Web 浏览器进行控制 |
无需复杂的软件设置或 维护 |
多达 8 个波长! 通过宽光谱范围测量增强薄膜测量
新发布的 FS-4/FS-8 可在更多波长和更宽的光谱范围内提供增强的薄膜测量。 新系统提供获得**的多波长椭圆计 (MWE) 技术和长寿命 LED 光源、快速、可重复的探测器,无移动部件、紧凑的设计和 Web 浏览器界面,同时保持易用性和可负担性。
名字 | 【新增】 FS-4(G4型) | 【新增】 FS-8(G4型) |
---|---|---|
光谱范围 | 450 ~ 660 纳米 | 370 ~ 950 纳米 |
波长范围 | 4 | 8 |
长处 |
・厚度为0~2μm的单层透明膜 可测量,精度为0.0004nm ・再现精度提高 2倍(与常规设备相比) ・可轻松进行原位测量 ・紧凑型光源和探测器 光源:125×80×60mm 探测器:110×80×60mm |
• 紫外波长 (370 nm) 提高了对 超薄膜和 10 nm 以下聚合物薄膜的测量灵敏度 • 三种长波长(735、850、950 nm)可用于 厚透明膜(*大 5 μm)和 半导体吸收膜(聚硅、硅锗、AMO Rufus-Si等) |
![波长图](https://meiwanet.co.jp/wp-content/uploads/2024/03/t22_new_20240314.png)
![波长图](https://meiwanet.co.jp/wp-content/uploads/2024/03/%E6%B3%A2%E9%95%B7%E8%A1%A8-1.jpg)
埃纳米薄膜薄膜厚度的高精度测量
从亚单层高精度测量纳米薄膜的厚度,无损测量每层多层薄膜的厚度,
多光谱椭圆仪对薄膜非常敏感,由椭圆(Δ:delta)参数得出。
通过测量 Mr./Ms. 中反射的 p 偏振光和 s 偏振光之间的相位,即使要测量的光的波长 (500 nm) 与薄膜厚度(小于 0.1 nm)
相比非常长,也可以测量**的薄膜厚度定量到亚单层的厚度。
下表显示了使用包含多层的各种 Mr./Ms. 拉力进行标准测量的准确度和精度。
得益于MWE技术,它在测量0Å~1000nm范围内薄膜的薄膜厚度和折射率方面表现出色。
![多光谱椭圆仪精度表](https://meiwanet.co.jp/wp-content/uploads/2022/08/fs1_sample.jpeg)