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  • 产品名称:TSUBOSAKA壶板电机 紫外线曝光设备

  • 产品型号:UVL-3
  • 产品厂商:TSUBOSAKA壶板电机
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简单介绍:
用于光刻工艺的简单曝光和印刷设备 台式/一体式节省空间 配备彩色液晶显示屏和十字键 **控制照射时间
详情介绍:
[操作步骤]
① 打开电源并打开灯泡
② 灯泡稳定后,调整并记录辐照度
③ 设置曝光时间
(以辐照度 x 时间显示曝光量)

曝光 在时间曝光的情况下,快门自动打开和关闭

对于手动曝光,请在检查曝光量的同时手动打开和关闭快门。

产品名称 紫外线曝光设备
产品名称 紫外线曝光设备
模型 UVL-3
光源 超高压汞灯250W
辐照度 [mW/㎠] 常规使用:20 - 22
*多:24
照度表面(宽x高)[毫米] 照射范围: φ155
有效: φ113 mm
照度不均[±%] 有效平面内8
显示/操作 ・主机操作
/外部通信控制
接触时间 0.1 - 99.9(*长 99 小时)
样品台 固定式/带平面微调机构
样品尺寸 [毫米 x 毫米] 100×100
通讯接口 连接器:USB 2.0 B 型
通信:带虚拟 COM 端口的 UART
电源电压 交流100V 50/60Hz
功耗 [VA] 450
操作环境 ・温度:5 - 35[℃]
・湿度:80[%]以下,但无结露
尺寸(宽x高x深)[毫米] 422.5mm(W)×781mm(H)×357mm(D) 不含突出部分
重量[公斤] 30
扩展 [选项]
- 更改辐照度(更改为 20 或更低)
- 兼容曝光掩模(添加掩模支架和样品托盘)
[自定义]
- 更改样品尺寸(支持自定义,因为照射范围也发生变化)

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