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Edwards大容量涡轮分子真空泵大化性能

Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司日前推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵 (TMP)。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。

Edwards公司 TMP产品营销经理Shinichi Yoshino 表示：“STP-iXA4506涡轮泵是改良抽气性能的一体化解决方案。它采用了Edwards新的转子设计和成熟且高度的iXA系列机载控制器，使容许通过的气量大化，从而使高流量过程所需的涡轮泵数量减至，尤其是在太阳能和平板应用中。泵集成的控制器免去了对线缆和独立控制器机架的需求，因而也节省了成本，体积紧凑易于在应用中快速安装。此外，就像我们的磁浮式涡轮泵一样，无需机械轴承的特性免除了定期维护的成本。”

这款涡轮泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高达4300 sccm N2)结合其抽吸轻气体和重气体的能力，使STP-iXA4506适用于许多不同的大流量、高流动性应用，包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设计包括一个密封的电子模组，以在严苛的工厂环境中实现稳健、的操作。需要时还可增加一套加热系统，以减少来自工艺过程中副产物的沉积物和微粒的堆积。

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