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英国爱德华真空泵-Edwards
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Edwards真空成为450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的创始成员
真空产品和尾气处理系统制造商及相关增值服务全球供应商Edwards 集团有限公司(纳斯达克代码:EVAC)近加入了一个由全球十家半导体设备公司组成、旨在组建450mm晶圆制造设备联盟(F450C)的工作组。这是全球450联盟(G450C)的一个分小组,其建立是为了解决下一代450mm半导体晶圆制造设施的复杂和基础设施要求。
F450C办公地点位于纽约州立大学阿尔巴尼分校的纳米科学和工程学院(CNSE),其成立是为了必要的关键设备,以确定有竞争力的设备解决方案,从而使450mm晶圆制造得以实现。Edwards 是联盟中一家代表真空和尾气处理设备的公司,这体现了Edwards公司在半导体行业以及其他应用中的长期经验和地位。
Edwards公司CEO Jim Gentilcore 评论道:“我们对于F450C联盟内部的合作机会感到很高兴,Edwards将可以把在真空和尾气处理的专长和应用到产业的下一个变革。联盟成员之间的协作将是理解过渡中的各方面实际需求的关键,也将终实现由450mm晶圆制造工艺所带来的生产效率提高。”
G450C 主要为450mm制造设备和工艺提供指导,而F450C的目标则是向450mm晶圆制造过渡过程中必不可少的配套设备和基础设施方案。这些方案可以解决更多出450mm晶圆生产带来的制造难题,因为下一代制造工厂带来了设施设计、基板处理、工具连接、化学品分送、水和电气系统以及许多其它的新挑战。
2013年6月28日,纽约州州长Andrew M. Cuomo宣布,F450C在纽约州立大学纳米科学和工程学院(CNSE)的成立带来500多万美元的新私人投资,并创造了多达150个工作岗位。
在SEMICON® West 2013展览会期间将会举办一个450mm制造EHS论坛(450mm Manufacturing EHS Forum),届时将讨论随着制造商转向450mm晶圆工艺而带来的环境、健康和(EHS)问题,以及所产生影响和挑战。
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