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【赫哲真空】真空按照压力范围分类
压力范围
压力 hPa
压力 Pa
数密度/cm
3
M平均自由程 [m]
气压
1,013.25
101,325
2.7·10
19
6.8·10
-8
低真空 (LV)
300…1
30,000…100
10
19
…10
16
10
-8
…10
-4
中真空 (MV)
1…10
-3
100…10
-1
10
16
…10
13
10
-4
…10
-1
高真空 (HV)
10
-3
…10
-7
10
-1
…10
-5
10
13
…10
9
10
-1
…10
3
真空 (UHV)
10
-7
…10
-12
10
-5
…10
-10
10
9
…10
4
10
3
…10
8
极高真空 (XHV)
<10
-12
<10
-10
<10
4
>10
8
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