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【赫哲真空】隔膜真空泵的设计及工作原理

隔膜真空泵是干式正排量泵。曲轴驱动的连杆 (4) 移动在头盖 (2) 和壳体 (3) 之间张紧的隔膜 (1)。头盖和隔膜之间的空间形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口阀和阀 (6)以实现目标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制断流阀用作此阀。由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质不会受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。阀和吸入室之间的固定空间产生一个受限制的压缩比，这意味着，只要一个抽吸阶段就可实现约 70 hPa 的极限压力。串联连接的多个抽吸阶段使实现 0.5 hPa 的极限压力称为可能。较低的压力无法实现，因为在这种情况下，不再有足够的力用于打开入口阀。隔膜泵的原理适合于大约10 m3· h-1的低抽速。

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