为什么N2需要99.99％或更高的纯度？
在N2纯度低的情况下，灯罩内的氧浓度和臭氧浓度将升高。结果，它导致辐射发散强度的降低，镜子的损坏以及由于灯劣化导致的低寿命。
臭氧排气怎么办？
通常在牵伸机中使用·从管道排出并使用它。请根据规格值指定值排气。另外，请以同样的方式吹扫吹扫气体。
如果您在使用排气设备时遇到问题，也可以为排气装置提供臭氧过滤器。在这种情况下，排气可以通过带有臭氧过滤器的排气装置释放到大气中。
有关详细信息，请参阅有关此安装的说明
即使在空气中也能获得清洁效果吗？
清洁能力取决于到达照射对象的照射强度和照射对象表面上的活性氧浓度。如果您采取过多的GAP，光线将无法到达被照射的物体，并且无法进行清洁。GAP和辐照强度之间的相关图将在下一页介绍。
什么是至佳氧气氛/间隙？
由于准分子的清洁效果影响被照射材料的材料，因此需要找到适合于该材料的至佳参数。有关清洁玻璃基板的参数，请提供相关信息。
我该如何评估清洁？
通常使用水滴测量水和材料的接触角。简单地检查时，还有一种通过呼气来判断阴霾状态或使用Daiyinpen来判断的方法。如果你想在不满足上述测量的情况下判断原子水平，有些情况下使用XPS。