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- 产品名称：USHIO牛尾 投影曝光装置 UX - 4
- 产品型号：UX - 4
- 产品展商：USHIO牛尾
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2017-07-01
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简单介绍
USHIO牛尾 投影曝光装置 UX - 4
USHIO牛尾 投影曝光装置 UX - 4
产品描述
ウシオ长年积累的光源、光学技术独自的大面积投影镜头技术用投影班机。在8英寸的晶圆上，用口罩和非接触的一次的暴光。宽广的景深用不平坦的晶片対曝光成为可能，代理ミティ班机已经不生产性高，高成品率达到了。
要素，【要素技术】
世界市场份额No，1超高压UV灯
以高高均匀度为自豪的独自照射光学
不看其他的大面积投影镜头
リソ・パターニング
MEMS·电子部件
半导体
液晶显示器
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