USHIO牛尾 布丁タブル图案化用光源组合“VUV班机”

****次用灯方式的真空紫外平行光。
真空紫外光的亲水化图案化方式比以前的リソグラフィープロセス相比大幅缩短工序，实现共同印刷方式不能得到的微细图案形成实现了。有机晶体管，ウェアラブルセンサー，生物设备等新领域的实现道路就会打开。此外，新开发的高亮度脉冲光源（PAT申请中）的平行光化，L / S = 5 / 5μm以下※的解像性能，实现。大面积化的咨询也请咨询
※使用抗蚀剂：东京応化工业株式会社制：TArF - P 6111（膜厚260纳米）
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