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覆层测厚仪的基本原理与测量方法
日期：2024-11-25 15:43
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摘要：
覆层测厚仪采用磁性法和涡流法的测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化发展。测量的分辨率已达0.1微米，精度可达到1%。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研使用*广泛的测厚仪器。而且是无损测量，既不破坏覆层也不破坏基材，检测速度快，能使大量的检测工作经济地进行。其基本原理是结构由磁钢，接力簧，标尺及自停机构组成。磁钢与被测物吸合后，将测量簧在其后逐渐拉长，拉力逐渐增大。当拉力刚好大于吸力，磁钢脱离的一瞬间记录下拉力的大小即可获得覆层厚度。
覆层厚度的测量方法主要有：楔切法、光截法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线反向散射法、电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。
X射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有放射源，使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
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