GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三温区带滑轨8.5"管式炉
GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE认证的三温区滑轨炉，其炉管外径为 8.5" O.D的滑轨真空管式炉，multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing，它可以在*大6“的基片上生长多种薄膜（在不同气氛下）. 它*高温度 1100℃，采用30段可编程PID数字温度控制器，可以设置30段升降温程序，控温精度±1℃。
技术参数
|
壳体结构 |
双层壳体，循环风冷. |
|
炉体表面温度< 70 ºC |
|
|
采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能 |
|
|
滑轨式法兰结构，方便放取样品 |
|
|
三个加热区实现更长的温度区和一个特定的温度梯度 |
|
|
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 |
|
|
输入电压 |
220VAC 单相 |
|
功率 |
8kW |
|
石英管尺寸 |
8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length |
|
仪器中包含一根石英管，以下尺寸可以作为选用，（点击查看详细资料） |
|
|
加热元件 |
NiCrAl 电阻丝 |
|
工作温度 |
*高工作温度: 1100℃ |
|
连续工作温度: 400 -1000℃ |
|
|
*大加热冷却速率: 10℃/min |
|
|
加热区 |
总加热区长度：900 mm (36") |
|
三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) |
|
|
恒温区: 500 mm (三个温区可以设置同样的温度） |
|
|
温度控制器 |
三个温度控制器，采用 PID 方式，通过可控硅来进行温度控制，可以设置30段升降温程序 |
|
设有一个额外的温度校准检测系统 |
|
|
双K型热电偶 安装在仪器里 |
|
|
控温精度: ±1℃ |
|
|
软件接口模块和PC机不在标配内需额外订购 |
|
|
密封法兰和进气接口 |
不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在内 |
|
右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF25真空接口. 标配内包括KF25真空挡板阀和1.2 米 KF-40 不锈钢波纹管. ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia K 型热电偶) |
|
|
包括一个石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射 |
|
|
左侧法兰安装在可移动的滑轨机构上. 法兰上设有五路进气接口每个进气口采用精密不锈钢针阀密封. |
|
|
左端密封法兰上装有4片磨砂石英挡片用于阻止热辐射. P建议采用水冷机组，为了美好的未来，请节约每一滴用水
|
|
|
产品尺寸 |
炉体: 1000L x 700 W x 1060 H mm |
|
滑轨长度: 600mm L |
|
|
注意: 你必须把炉体和滑动机构放置在同一基准面上。 |
|
|
净重 |
354Kg |
|
包装尺寸 |
70" x 70" x 65" |
|
运输重量 |
354Kg |
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃8.5"
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三温区带滑轨8.5"管式炉
GSL1100X8.5SRIII 1100℃8.5"
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃8.5"
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三温区带滑轨8.5"管式炉
GSL1100X8.5SRIII 1100℃8.5"
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃8.5"
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三温区带滑轨8.5"管式炉
GSL1100X8.5SRIII 1100℃8.5"
