日本 HORIBA 掘场 装置搭载型 IT-470F-H 非接触辐射温度计

• 高い絶対精度：±0.1°C※と再現性（2σ）：0.1°C※を実現
• 測定距離150mmにおいてΦ8mmの狭視野を実現
• 汎用性の高い電流出力と、電磁誘導ノイズの影響を受けにくい光デジタル出力の2系統の出力を用意

※一定条件下で使用した場合の実力値です。

• サセプタが真空チャンバー内にある場合の温度測定例
  窓を通して真空チャンバーの外からサセプタの温度測定が可能です。
  
• FPD製造プロセスにおける液晶基板の表面温度測定例
  非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。
  
• 研磨時の温度管理例
  非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。
  
  
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