装置按照DL/T662-1999《六氟化硫充气及回收装置》标准，装置真空泵、指针式真空表、调节阀、输气管以及维护SF6断路器的必须的阀门和仪表控制部件组成，具有如下主要功能： 1、对SF6电器进行抽真空及真空测量； 2、对SF6电器充气
sf6抽真空充气装置、sf6抽真空装置、sf6气体抽真空装置。
l 抽真空充气速效高、能耗少 l 电源设有相序自动换相系统 l 高精度热偶真空计，简洁实用 l 设计先进，功能齐全，结构合理，操作简洁明了 l 装置控制系统采用技术的SF6专用阀门 l 设备采用移动式结构，方便现场使用，便于移动，不伤害地面 l 整机体积小、总量轻、噪声低
1. 装置极限真空度小于10Pa 2. 装置年泄漏率小于1% 3. 充气系统压力小于0.8Mpa 4. 系列型号： 型号 真空泵速率 4型 4升/秒（14.4m3/h） 8型 8升/秒（28.8m3/h） 15型 15升/秒（54m3/h） 30型 30升/秒（108m3/h） 70型 70升/秒（252m3/h）可选用罗茨泵机组 150型 150升/秒（540m3/h）可选用罗茨泵机组
罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。
l 真空泵：R5--0040 旋片式真空泵（德国） l 真空表：高精度热偶真空计 l 阀门：不锈钢精密球阀 l 连接管：高压管2根