SF6气体虽然具有很好的化学稳定性和优异的电气性能，但是由于设计、材质和工艺等原因使设备内部存在绝缘缺陷和导电杆连接**，引起SF6气体和固体绝缘材料分解，乃至酿成事故，影响了电力生产的正常运行。当SF6电器设备存在故障时，故障区域的SF6气体和固体绝缘材料在热和电的作用下裂解，将产生硫化物、氟化物和碳化物。硫化物主要有SO2、H2S、SOF2、SF4和SO2F2;氟化物主要有HF、CF4和金属氟化物；碳化物主要有CO、CO2和低分子烃。