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ULVAC 爱发科 溅射设备

日期:2024-10-09 21:19
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摘要:ULVAC 爱发科,主要经营内容,显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化工、食品和制药行业以及大学和实验室的真空设备、外围设备、真空部件和材料的开发、制造、销售、客户支持和机器的进出口。 此外,他还担任真空技术研究指导和技术顾问。

ULVAC 爱发科,显示器、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化工、食品和制药行业以及大学和实验室的真空设备、外围设备、真空部件和材料的开发、制造、销售、客户支持和机器的进出口。



在面向智能社会的不断增长的半导体器件市场提高市场份额

随着支持物联网 (IoT) 的大数据处理设备、服务器和边缘计算机的增长,半导体器件的发展令人瞩目的变化。 不仅传统的 DRAM 和 NAND,而且由非易失性存储器组成的存储类内存也增加了增长的机会。 通过小型化实现处理器技术**。
对于这些**半导体,Alback 的目标是在传统的 NAND 和 DRAM 内存以及新的 PCRAM 和逻辑/基础两个轮子上实现增长。

基于 Alback 独特的业务增长战略,我们将开发不同于**竞争对手解决方案制造商的业务。
作为中期战略产品,我们将利用天然氧化膜去除装置和溅射沉积设备的优势,开发新技术,以应对*先进的设备。


溅射设备 负载锁定类型

多室
溅射设备ENTRONTM-EX W300

它是一个单片多腔平台,在铝、Cu 和高熔点金属布线工艺方面拥有丰富的经验。 结合 SIS(自旋转)-PVD、金属 CVD/ALD 和 DRY 预处理模块,适应下一代工艺,实现*佳的性价比。




ULVAC 爱发科特点

  • 我们公司的传统机器TM基于 -W300/W200 系列的*新型号,主要是为了提高生产率。
  • *多可安装 8 个工艺(PVD、ALD、CVD 等)和 2 个(德加斯、酷)模块。
  • 配备本公司制造的新型搬运机器人,实现机械吞吐量100wph以上。
  • S 型(单类型)和巨型晶圆(串联型)是专用工艺或微型晶圆盒的理想选择,可灵活响应您的生产计划。
  • 可安装ED-PMS系统,用于监控和管理设备的运行状态,并配备非接触式薄膜厚度测量装置MESEC-BIT。

ULVAC 爱发科 用途

  • *先进的半导体制造设备



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