日本MIKASA旋转涂布机中国代理

日本MIKASA MS-B100旋转涂布机产品特点介绍：

■采用AC伺服电动机

1. 无刷式，不会造成无尘室污染。

2. 减少电动机发热.也减少因连续使用时的温度上升造成对膜厚匡 现性的影响。

3. 电力消费低，减低环境的负担。

■扩张程序功能

1.*多有100阶段程序、可记忆10种樓式，更容易使用〜

■所有机型皆标准配备数宇式真空计

■方形基板等可设定停止时位置.超方便

■**装置机构（真空压及盖子）

1.由于薄膜或晶圆容易破裂，而降低吸附压力时.可以变更**装 罟机构（真空）的稼动压力。

日本MIKASA MS-B200旋转涂布机产品特点介绍：

■采用AC伺服电动机

1. 无刷式，不会造成无尘室污染。

2. 减少电动机发热，也减少因连续使用时的温度上升造成对膜厚再现性的彩购。

3. 电力消费低，减低环境的负担。

■扩张程序功能

1.*多有100阶段程序、可记忆10种模式，更容易使用。

■所有机型皆标准配备数宇式真空计

■方形基板等可设定停止时位置，超方便

■**装置机构（真空压及盖子）

1.由于薄膜或晶圆容易破裂，而降低吸附压力时，可以变更**装置机构（真空）的稼动压力。

日本MIKASA MS-B200（密闭式）旋转涂布机产品特点介绍：

■可减低因旋转而产生的气流不稳.均匀涂膜

■ EB光刻剂涂布效果佳

■低沸点溶剂涂布效果佳

■可减低光刻剂的使用量

日本MIKASA MS-B300旋转涂布机产品特点介绍：

日本MIKASA MS-B300（密闭式）旋转涂布机产品特点介绍：

日本MIKASA 标准滴下设备（气动式）特点介绍：

日本MIKASA 标准滴下设备（直立式）特点介绍：