企业信息
第8年
- 入驻时间: 2017-03-06
- 联系人:张婧
- 电话:0512-67089211
-
联系时,请说明易展网看到的
- Email:suz@tamasaki.com.cn
- Stucchi思多奇
- NITTO KOHKI日...
- Sankei
- KYOWA协和工业
- DIT东日技研
- AITEC艾泰克
- SIGMAKOKI西格玛...
- REVOX莱宝克斯
- CCS 希希爱视
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北阳电机
- SSD西西蒂
- EMIC 爱美克
- TOFCO东富科
- 打印机
- HORIBA崛场
- OTSUKA大冢电子
- MITAKA三鹰
- EYE岩崎
- KOSAKA小坂
- SAGADEN嵯峨电机
- TOKYO KEISO东...
- takikawa 日本泷...
- Yamato雅马拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
- SENSEZ 静雄传感器
- marktec码科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
- Sugiyama杉山电机
- Osakavacuum大...
- YAMARI 山里三洋
- ACE大流量计
- KEM京都电子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA东京理化
- ANRITSU安立计器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson诺信
- PISCO匹斯克
- NS精密科学
- NDK 日本电色
- 山里YAMARI
- SND日新
- Otsuka大塚电子
- kotohira琴平工业
- YAMABISHI山菱
- OMRON欧姆龙
- SAKURAI樱井
- UNILAM优尼光
- ONO SOKKI小野测...
- U-Technology...
- ITON伊藤
- chuhatsu中央发明...
新闻详情
MORITEX茉丽特-高速高分辨率晶圆检测*佳方案
日期:2024-10-10 02:24
浏览次数:70
摘要:
晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形,故称为晶圆(Wafer)。硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的检测质量将直接影响下步半导体加工工艺的精度及成本。
被测物体:晶圆
客户要求:
1.wafer检测,通常要求高分辨率
2.高速检测,因此要求光源亮度高且镜头Fno.小光通量大
3.低畸变
难点:
1.匹配16K 3.5um相机
2.支持相机靶面62mm
3.高...
晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形,故称为晶圆(Wafer)。硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的检测质量将直接影响下步半导体加工工艺的精度及成本。
被测物体:晶圆
客户要求:
1.wafer检测,通常要求高分辨率
2.高速检测,因此要求光源亮度高且镜头Fno.小光通量大
3.低畸变
难点:
1.匹配16K 3.5um相机
2.支持相机靶面62mm
3.高度运动,相机曝光时间极短,对光源和镜头要求高
解决方案:
相机: 16K3.5级阵相机
镜头:茉丽特ML-F90C-070
光源:茉丽特MLNC-CW300-DF
相机:茉丽特ML-F90C-070
成像对比
优点:
*完全匹配16K3.5um线阵相机,中心和边缘成像一致性好
*镜头Fno 2.8,亮度高30%
*高亮光源(70万lx@wd=50mm)
晶圆要实现高速高质检测,需要大通光量及高分辨率,茉丽特F90C镜头,拥有同类产品中*小光圈值(F2.8)及**分辨率(全视场中心到边缘150lp/mm),搭配茉丽特线性光源使用,能实现业内*理想的成像效果。