日本HORIBA堀场/ 自动化薄膜测量工具/一键式全自动快速椭偏仪/Auto SE

日期：2025-01-09 11:34

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摘要：日本HORIBA堀场生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、体外诊断分析仪和半导体行业使用的测量设备等。HORIBA还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测量与分析设备

日本HORIBA堀场椭圆偏振光谱仪i_Product_2065323049.html?_v=1690560008

薄膜表征的有效技术
椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征。它基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合获得厚度以及光学常数等。根据薄膜材料的不同，可测量的厚度从几个Å到几十微米。椭圆偏振光谱是一种很好的多层膜测量技术。
椭圆偏振光谱仪可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光学特性(n,k)、光学带隙、界面和粗糙度厚度，薄膜组成，膜层均一性，等等。
椭圆偏振光谱适合分析的材料包括半导体、电介质、聚合物、有机物和金属。也可用于研究固-液或液-液界面。
HORIBA椭圆偏振光谱仪采用新型高频偏振调制技术，测试过程中无任何机械旋转。与传统椭偏仪相比，更快的测试速度、更宽的测量范围以及更高的表征精度。