日本tokkyokiki特许机器株式会社-半导体减振设备

日本tokkyokiki特许机器株式会社-半导体减振设备

气浮式隔振桌 EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

日本tokkyokiki特许机器在以半导体产业为代表的超精密加工领域，制造、检查、测试的精度已进入了纳米和埃米量级。准确的把握住时代需求，OS气浮式隔振桌系列为微纳振动提供隔振空间。
我们拥有丰富的产品系列，可对应与半导体、液晶玻璃基板大口径化、基板大型化相关的检查设备大型化、重型化。
与制造检验生产线相匹配的简约设计，各种选项配件，可**的构成整个系统。

日本tokkyokiki特许机器——隔振桌EHS满足超精密检查/测试仪器隔振需求的高性能隔振桌
日本tokkyokiki特许机器——隔振桌DHS
DHS系列是EHS系列产品上装有盖罩的型号。操作时可不必担心碰到上浮部件。
日本tokkyokiki特许机器——隔振桌DAS光学显微镜/粗糙度仪等　也可适用于大载荷
日本tokkyokiki特许机器——隔振桌SRD/SVD显微镜/粗糙度仪等　简单放置

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