日本kashiyama柏山工业株式会社—真空泵

日本kashiyama柏山工业株式会社

日本柏山工业株式会社Kashiyama Industries, Ltd.，位于日本国长野县佐久市，成立于1951年1月10日。产品包括高精密真空泵和滑雪设备。坚山干式真空泵产品广泛应用于半导体，液晶和新能源等行业。

干式真空泵

干式真空泵介绍

您可以信赖的真空技术。展现**实力的多元化产品群。

Kashiyama 的产品在半导体和液晶制造等众多现代**领域深受客户信赖。

这种信任的基础是我们多年来培育的真空技术。

尤其是干泵系列，已成为半导体制造工艺的标准，可以说是该真空技术的**之作，在*广泛的应用中展现出*高的可靠性，受到了客户的高度赞誉。困难的过程..

柏山真空技术创造的产品，不仅是干泵，还有机械增压泵和真空泵，正在许多领域展示其威力。

主要型号

号*1	SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000 *5	SDH6000 *5
*大抽速 [L/min] *2	10,000	18,000	19,000	30,000	50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2	0.5	0.3	0.5
氮气流量[SLM]	0 至 80	0 到 120
冷却水流量[L/min]	3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
消耗功率 [kW] *3	1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm] *4	L。	695	695	850	910	1050
W.	第285章	第285章	380	第420章	515
H。	850	850	950	900	950

*1) SDX 节能/赫什工艺兼容机、SDT/SDH 耐工艺/超严酷工艺兼容机
*2)不使用 N2 吹扫时的值。*3) *终运行期间的大约功耗。*4) 封装尺寸。如需详细尺寸，请索取外部图纸。
*5) 我们拥有一系列具有优异加工耐受性的产品，因此请联系我们的销售代表。
规格和型号名称如有变更，恕不另行通知。*请联系我们了解兼容的气体类型。

排气性能曲线