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第8年
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新闻详情
日本AMAYA株式会社天谷制作所——半导体设备
日期：2024-11-22 02:19
浏览次数：128
摘要：
常压CVD装置
准备了满足顾客需求的产品阵容。同时，定做也对应。
＜产品特征＞
对应于半导体制造用、太阳能电池制造用等各种用途
从少量生产到大量生产
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各种膜种
采用SiC托盘防止重金属污染，从低温（200℃）到中温（500℃）区域可以广泛成膜
A200V 单片式常压CVD装置
AMAX800V
8英寸连续式量产用常压CVD装置
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常压CVD装置
准备了满足顾客需求的产品阵容。同时，定做也对应。
＜产品特征＞
对应于半导体制造用、太阳能电池制造用等各种用途
从少量生产到大量生产
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各种膜种
采用SiC托盘防止重金属污染，从低温（200℃）到中温（500℃）区域可以广泛成膜
A200V 单片式常压CVD装置
AMAX800V
8英寸连续式量产用常压CVD装置
AMAX1200
12英寸连续式量产用常压CVD装置
A6300S
小口径晶圆连续式量产用常压CVD装置
定制装置
D501
间歇式常压CVD装置
太阳能电池用装置
AMAX1000S
125mm/156mm太阳能电池量产用连续式常压CVD装置
玻璃基板成膜装置
对应FPD等刚性/挠性器件的常压CVD装置
