日本MIKASA米卡萨|显影装置株式会社光刻胶专用仪器设备|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司

日期：2025-01-07 11:23

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摘要：日本MIKASA米卡萨|显影装置株式会社光刻胶专用仪器设备|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司日本Mikasa为半导体制造工序提供支持的Mikasa备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后，晶圆涂抹提供一站式服务。日本Mikasa 半导体用设备旋涂机 MS-B100，MS-B150，MS-B200，MS-B300，MS-B200 日本Mikasa密閉型MS-B300 密閉型MA-20，MA-10B，MA-60F，M-2LF，M-1S，AD-1200，AD-3000，ED-1200，日本Mikasa腔室不锈钢转数 0～3,000rpm电...

日本Mikasa为半导体制造工序提供支持的Mikasa备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后，晶圆涂抹提供一站式服务。

日本Mikasa 半导体用设备旋涂机

MS-B100，MS-B150，MS-B200，MS-B300，MS-B200

日本Mikasa密閉型MS-B300

密閉型MA-20，MA-10B，MA-60F，M-2LF，M-1S，AD-1200，AD-3000，ED-1200，

日本Mikasa腔室不锈钢转数 0～3,000rpm电路板尺寸φ1英寸~φ12英寸（220×220mm）联锁真空吸附确认传感器处理室盖联锁吸嘴移动超限限位器化学压力输送压力罐压力进给药液喷出喷雾喷射（摆动喷嘴类型）电源 AC200V 3 相 15A尺寸（mm）打开门时 720W×500H×520D910H步骤数48 步跳过和复制功能程序模式 10 种模式重量 60㎏流程（标准）显影液：1系统（2个喷嘴）冲洗：1个系统（2个喷嘴）后冲洗：1个系统主要选项化学温度管理系统（加压系统）各种基板支架安装工作台使用的化学溶液碱性显影液