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日本MIKASA米卡萨|显影装置株式会社光刻胶专用仪器设备|塔玛萨崎电子(苏州)有限公司
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日本Mikasa为半导体制造工序提供支持的Mikasa备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,晶圆涂抹提供一站式服务。
日本Mikasa 半导体用设备 旋涂机
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日本Mikasa腔室不锈钢 转数 0~3,000rpm电路板尺寸φ1英寸~φ12英寸(220×220mm) 联锁 真空吸附确认传感器处理室盖联锁吸嘴移动超限限位器化学压力输送压力罐压力进给药液喷出喷雾喷射(摆动喷嘴类型) 电源 AC200V 3 相 15A尺寸 (mm)打开门时 720W×500H×520D910H步骤数48 步跳过和复制功能程序模式 10 种模式 重量 60㎏流程(标准) 显影液:1系统(2个喷嘴)冲洗:1个系统(2个喷嘴)后冲洗:1个系统 主要选项 化学温度管理系统(加压系统)各种基板支架安装工作台使用的化学溶液 碱性显影液
Mikasa米卡萨备齐光刻胶涂布、Mikasa米卡萨曝光机、Mikasa米卡萨显影装置、Mikasa米卡萨蚀刻装置,Mikasa米卡萨光刻机,Mikasa米卡萨匀胶机
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