HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具

日期：2024-12-23 04:34

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摘要：HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具

Auto SE - 自动化薄膜测量工具
一键式全自动快速椭偏仪
Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。
Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。
Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单
Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
全自动流程，薄膜分析更容易
高性能系统
光斑可视化，微光斑可至25x60 µm
功能齐全和灵活
智能诊断

HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
光谱范围：440-1000nm
光斑尺寸：7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
探测系统：CCD，分辨率2nm
样品台：真空吸盘，Z轴行程40mm
光斑可视系统：CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
量角器：固定角70°，也可选择66°或61.5°
多种附件可选
测试时间：<2s，常规为5s
准确性：NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
重复性：NIST 15nm ± 0.2 Å

发光二极管（LED）具有耗电量少、寿命长、色彩丰富、耐震动、易控等特点。1990年代以来，半导体照明技术不断突破，应用领域日益扩展。LED的电光转化效率取决于LED薄膜的结构和整体材料性能。椭圆偏振光谱可以准确测定LED器件的厚度和光学常数。用于研究和工业应用。厚度和折射率的准确控制对弈器件性能的优化和工业质量的控制至关重要。

HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具

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