企业信息
第8年
- 入驻时间: 2017-03-06
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产品详情
简单介绍:
UV照射装置 ORC欧阿希 VUM-3073FUV照射装置 ORC欧阿希 VUM-3073FUV照射装置 ORC欧阿希 VUM-3073F
塔玛萨崎电子(苏州)有限公司系 京都玉崎(日本)株式会社全资设立的中国子公司,自2014年成立以来,迅速崛起,专业从事国内贸易/国际贸易业务,主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用
详情介绍:
半導体製造プロセス、液晶基板製造プロセス等微細なパターンを形成する工程において、基板の表面に残る有機物に、UVを照射して有機物汚染を非接触で除去する装置です。基板イダメージを与えずに表面の洗浄と改質が出来ます。 |
HMW-615N |
|||
VUM-3073F |
◆ 特 徴 |
1. | 基板にダメージが少なく、有機物を分解する能力の高い独自の低圧UVランプを搭載しています。 |
2. | 基板を揺動するモードを利用すると、基板にUV光量が均等に照射されます。 |
3. | 基板はあまり加熱されません。 |
4. | オゾンをカットする照射方式も、窒素ガスをパージする照射方式も適用できます。 |
◆ 仕 様 |
型式 | HMW-615N-3 | HMW-615N-4 | VUM-3073F |
使用ランプ |
低圧UVランプ VUV-080/A-3.6U・5灯 |
低圧UVランプ VUV-100/A-5.3U・7灯 |
低圧UVランプ VUV-040/A-2.2U・4灯 |
照射距離 | 25mm | 25mm | 15mm |
照射面積 | 300W X 300D | 400W X 400D | 200W X 200D |
照射時間 | 0~10min(可変) | 0~99min59sec(可変) | |
排気オゾン除去 | オゾン分解用フィルター使用 | ||
外形寸法 | 750W X 700DX 1,435H 180kg | 580W X 500DX 240H 25kg |